プラズマ/プロセスの原理
書誌情報:プラズマ/プロセスの原理
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著
佐藤久明訳
第2版
東京 : 丸善 , 2010.1
xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号登録番号資料ID状態貸出区分備考 
1 0太秦南館:５階閲覧室
  • 427.6
  • L62p
  •  
1038948008002285 利用可
図書（帯出可） 

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書誌詳細
刊年2010
形態xxix, 612p : 挿図 ; 26cm
別書名Principles of plasma discharges and materials processing
プラズマプロセスの原理
注記監修: 堀勝
参考文献: p[591]-604
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
原作言語英語
著者情報Lieberman, M. A. (Michael A.)
Lichtenberg, Allan J
佐藤, 久明 (サトウ, ヒサアキ)
堀, 勝(1958-) (ホリ, マサル)
分類NDC8:427.6
NDC9:427.6
ISBN9784621082232
件名BSH:プラズマ物理学
NDLSH:薄膜
NCIDBB00985264
番号OTHN : TRC:10006683

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