はじめての半導体ドライエッチング技術
書誌情報:はじめての半導体ドライエッチング技術
|
書誌詳細
| 刊年 | 2012 |
| 形態 | viii, 162p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 半導体ドライエッチング技術 : はじめての
|
| シリーズ名 | 現場の即戦力
|
| 注記 | 参考文献: 各章末 |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 野尻, 一男 (ノジリ, カズオ)
|
| 分類 | NDC8:549.8
NDC9:549.8 |
| ISBN | 9784774149400
|
| 件名 | BSH:半導体
|
| NCID | BB07670421 |
| 番号 | OTHN : TRC:11060781 |
WebCatPlus を見る
CiNii Books を見る
|