Introduction to microfabrication
書誌情報:Introduction to microfabrication
Sami Franssila
2nd ed
Chichester, West Sussex, England : Wiley , 2010
xiv, 518 p. : ill. ; 26 cm
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書誌詳細
刊年2010
形態xiv, 518 p. : ill. ; 26 cm
注記Includes bibliographical references and index
出版国イギリス
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Franssila, Sami
分類LCC:TK7875
DC22:621.3
NDLC:ND351
ISBN9780470749838(: cloth)
件名LCSH:Microelectromechanicalsystems
LCSH:Electronicapparatusandappliances
LCSH:Microfabrication
NCIDBB05513331
番号LCCN : 2010010076

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