| 刊年 | 2012 |
| G/SMD | リモートファイル |
| 形態 | 1オンラインリソース : 挿図 |
| 別書名 | Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
半導体MEMSのための超臨海流体
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| 注記 | その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
引用・参考文献: p[212]-222 |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 近藤, 英一 (コンドウ, エイイチ)
上野, 和良 (ウエノ, カズヨシ)
内田, 寛 (ウチダ, ヒロシ)
曽根, 正人 (ソネ, マサト)
生津, 英夫 (ナマツ, ヒデオ)
服部, 毅 (ハットリ, タケシ)
堀, 照夫 (ホリ, テルオ)
森口, 誠 (モリグチ, マコト)
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| 分類 | NDC9:549.8
NDC9:431.8
NDC9:431.3 |
| ISBN | 9784339208375(: electronic bk)
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| 無効/取消ISBN | 9784339008371(: electronic bk)
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| 件名 | BSH:半導体
BSH:マイクロマシン
BSH:超臨界流体
NDLSH:マイクロエレクトロニクス
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| NCID | 3000017702 |
| IDENT | https://elib.maruzen.co.jp/elib/html/BookDetail/Id/3000017702 |