Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology
書誌情報:Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology
Marc J. Madou
3rd ed
Boca Raton : CRC Press , c2012
xiii, 641 p. : ill. (some col.), ports. (some col.) ; 29 cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号登録番号資料ID状態貸出区分備考 
1: hardback0太秦南館:新着コーナー
  • 549.9
  • F89
  • 1
1040592009006558 利用可
図書（帯出可） 

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書誌詳細
刊年2012
形態xiii, 641 p. : ill. (some col.), ports. (some col.) ; 29 cm
シリーズ名Fundamentals of microfabrication and nanotechnology ; v. 1
注記Includes bibliographical references and index
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Madou, Marc J.
分類LCC:TK7875
DC22:621.381
ISBN9781420055115(: hardback)
件名LCSH:Microelectromechanicalsystems
LCSH:Nanoelectromechanicalsystems
LCSH:Microfluidics
LCSH:Solidstatephysics
NCIDBB06582453
番号LCCN : 2011014406

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