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書誌情報:Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology
Marc J. Madou
3rd ed
Boca Raton : CRC Press , c2012
xiii, 656 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
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巻号予約人数所在請求記号登録番号資料ID状態貸出区分備考 
1: hardback0太秦南館:新着コーナー
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  • F89
  • 2
1040592109006559 利用可
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書誌詳細
刊年2012
形態xiii, 656 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
シリーズ名Fundamentals of microfabrication and nanotechnology ; v. 2
注記Includes bibliographical references and index
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Madou, Marc J.
分類LCC:TJ1191.5
DC22:620.5
ISBN9781420055191(: hardback)
件名LCSH:Microfabrication
LCSH:Nanotechnology
NCIDBB06582861
番号LCCN : 2011014405

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