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書誌情報:From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
Marc J. Madou
3rd ed
Boca Raton : CRC Press , c2012
xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号登録番号資料ID状態貸出区分備考 
1: hardback0太秦南館:新着コーナー
  • 549.9
  • F89
  • 3
1040592209006560 利用可
図書（帯出可） 

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書誌詳細
刊年2012
形態xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
シリーズ名Fundamentals of microfabrication and nanotechnology ; v. 3
注記Includes bibliographical references and index
"This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Madou, Marc J.
分類LCC:TP248.25.B54
DC22:621.381
ISBN9781420055160(: hardback)
件名LCSH:BioMEMS
LCSH:Nanoelectromechanicalsystems
LCSH:Nanotechnology
LCSH:Biotechnology
NCIDBB06583387
番号LCCN : 2011014404

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