書誌情報:はじめての半導体製造装置
書誌詳細
刊年 | 1999 |
形態 | 254p ; 21cm |
シリーズ名 | ビギナ-ズブックス
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注記 | さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p245-247, 引用文献および資料: p248-250 |
出版国 | 日本 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
原作言語 | 日本語 |
著者情報 | 前田, 和夫(1935-) (マエダ, カズオ)
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分類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
ISBN | 9784769311690
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件名 | BSH:半導体
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NCID | BA40473169 |
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