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> From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
書誌情報:From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
Marc J. Madou
3rd ed
Boca Raton : CRC Press , c2012
xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
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所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
登録番号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
: hardback
0
太秦南館:5階大型本
549.9
F89
3
10405922
09006560
利用可
図書(帯出可)
選択行を:
書誌詳細
刊年
2012
形態
xiii, 636 p. : ill. (some col.), ports. ; 29 cm
シリーズ名
Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
; v. 3
注記
Includes bibliographical references and index
"This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]
出版国
アメリカ合衆国
標題言語
英語
本文言語
英語
著者情報
Madou, Marc J.
分類
LCC:TP248.25.B54
DC22:621.381
ISBN
9781420055160(: hardback)
件名
LCSH:BioMEMS
LCSH:Nanoelectromechanicalsystems
LCSH:Nanotechnology
LCSH:Biotechnology
NCID
BB06583387
番号
LCCN : 2011014404
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