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書誌情報:半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
重里有三, 高木茂行共著
東京 : オーム社 , 2012.10
x, 220p : 挿図 ; 21cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号登録番号資料ID状態貸出区分備考 
1 0太秦南館:５階閲覧室
  • 549.8
  • Sh29h
  •  
1039027108003076 利用可
図書（帯出可） 

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書誌詳細
刊年2012
形態x, 220p : 挿図 ; 21cm
別書名半導体プロセス形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
注記参考文献: 各章末
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報重里, 有三 (シゲサト, ユウゾウ)
高木, 茂行 (タカギ, シゲユキ)
分類NDC8:549.8
NDC9:549.8
ISBN9784274212741
件名BSH:半導体
BSH:シミュレーション
NCIDBB10806146
番号OTHN : TRC:12055503

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