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検索結果一覧:(本学所蔵)
> 半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
書誌情報:半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
重里有三, 高木茂行共著
東京 : オーム社 , 2012.10
x, 220p : 挿図 ; 21cm
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所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
登録番号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
太秦南館:5階閲覧室
549.8
Sh29h
10390271
08003076
利用可
図書(帯出可)
選択行を:
書誌詳細
刊年
2012
形態
x, 220p : 挿図 ; 21cm
別書名
半導体プロセス形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
注記
参考文献: 各章末
出版国
日本
標題言語
日本語
本文言語
日本語
著者情報
重里, 有三
(シゲサト, ユウゾウ)
高木, 茂行
(タカギ, シゲユキ)
分類
NDC8:549.8
NDC9:549.8
ISBN
9784274212741
件名
BSH:半導体
BSH:シミュレーション
NCID
BB10806146
番号
OTHN : TRC:12055503
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