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書誌情報:Reliability of MEMS : testing of materials and devices
edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya
Weinheim : Wiley-VCH , c2013
xx, 303 p. : ill. ; 25 cm
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巻号予約人数所在請求記号登録番号資料ID状態貸出区分備考 
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書誌詳細
刊年2013
形態xx, 303 p. : ill. ; 25 cm
シリーズ名Advanced micro & nanosystems
注記Includes bibliographical references and index
"First edition 2007"--t.p.verso
出版国ドイツ = ドイツ連邦共和国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報土屋, 智由 (ツチヤ, トシユキ)
田畑, 修 (タバタ, オサム)
分類LCC:TK7875
DC22:621
ISBN9783527335015
件名LCSH:Microelectromechanicalsystems -- Reliability
NCIDBB19673019

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