書誌情報:これからのMEMS : LSIとの融合
書誌詳細
刊年 | 2016 |
形態 | v, 151p : 挿図 ; 22cm |
別書名 | これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
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注記 | タイトルは奥付による 参考文献: p136-147 |
出版国 | 日本 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
著者情報 | 江刺, 正喜(1949-) (エサシ, マサヨシ) 小野, 崇人 (オノ, タカヒト(1967-))
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分類 | NDC8:530 NDC9:530 |
ISBN | 9784627775510
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件名 | BSH:マイクロマシン
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NCID | BB21515702 |
番号 | OTHN : TRC:16031025 |
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