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書誌情報:これからのMEMS : LSIとの融合
コレカラ ノ MEMS : LSI トノ ユウゴウ
江刺正喜, 小野崇人共著
東京 : 森北出版 , 2016.6
v, 151p : 挿図 ; 22cm
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書誌詳細
刊年2016
形態v, 151p : 挿図 ; 22cm
別書名これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
注記タイトルは奥付による
参考文献: p136-147
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報江刺, 正喜(1949-) (エサシ, マサヨシ)
小野, 崇人 (オノ, タカヒト(1967-))
分類NDC8:530
NDC9:530
ISBN9784627775510
件名BSH:マイクロマシン
NCIDBB21515702
番号OTHN : TRC:16031025

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