書誌情報:Microlithography : science and technology

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edited by Bruce W. Smith and Kazuaki Suzuki
3rd ed
Boca Raton, Fla. : CRC Press, Taylor & Francis Group , 2020
xi, 837 p. : ill. ; 27 cm

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所蔵一覧

	巻号	予約人数	所在	請求記号	登録番号	資料ID	状態	貸出区分	備考
1	: hbk	0	太秦南館:５階閲覧室	549.7 Mi13	10404650	09004845	利用可	図書（帯出可）

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書誌詳細

刊年	2020
形態	xi, 837 p. : ill. ; 27 cm
注記	Includes bibliographical references and index
出版国	アメリカ合衆国
標題言語	英語
本文言語	英語
著者情報	Smith, Bruce W. Suzuki, Kazuaki
分類	LCC:TK7836 DC23:621.3815/31
ISBN	9781439876756(: hbk)
件名	LCSH:Microlithography -- Industrialapplications LCSH:Integratedcircuits -- Masks LCSH:Metaloxidesemiconductors,Complementary -- Designandconstruction LCSH:Manufacturingprocesses
NCID	BC02482046
番号	LCCN : 2019053732

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