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関連資料一覧：（本学所蔵）
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著者情報：谷川, 紘
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1書影小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法 : electronic bk その他肥後矢吉編著, 谷川紘 [ほか] 共著コロナ社2015オンライン
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