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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：LCSH:Microelectromechanicalsystems -- Reliability
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1書影Reliability of MEMS : testing of materials and devices ( Advanced micro & nanosystems )太秦南館edited by Osamu Tabata and Toshiyuki TsuchiyaWiley-VCH2013太秦南館:５階閲覧室 549.7||Ta11r
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