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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：NDLSH:薄膜
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影薄膜作製応用ハンドブック : electronic bk その他酒井忠司 [ほか] 編集委員, 宮﨑照宣編集協力委員エヌ・ティー・エス2020オンライン
2書影プラズマ/プロセスの原理 太秦南館Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著, 佐藤久明訳丸善2010太秦南館:５階閲覧室 427.6||L62p
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