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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：BSH:マイクロマシン
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影これからのMEMS : LSIとの融合 太秦南館江刺正喜, 小野崇人共著森北出版2016太秦南館:５階閲覧室 530||E71k
2書影小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法 : electronic bk その他肥後矢吉編著, 谷川紘 [ほか] 共著コロナ社2015オンライン
3書影はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems 太秦南館江刺正喜著森北出版2011太秦南館:５階閲覧室 530||E71h
4書影半導体・MEMSのための超臨界流体 : electronic bk その他近藤英一編著, 上野和良 [ほか] 著コロナ社2012オンライン
5書影マイクロマシン : 驚異の極微技術 ( 講談社現代新書 ; 1147 )亀岡本館那野比古著講談社1993亀岡本館:閲覧室 080||Ko19||1147
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