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関連資料一覧:(本学所蔵)
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件名:BSH:マイクロマシン
図書(5 件)
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資料名
所蔵館
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出版者
出版年
所在
1
これからのMEMS : LSIとの融合
太秦南館
江刺正喜, 小野崇人共著
森北出版
2016
太秦南館:5階閲覧室
530||E71k
2
小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法 : electronic bk
その他
肥後矢吉編著, 谷川紘 [ほか] 共著
コロナ社
2015
オンライン
3
はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems
太秦南館
江刺正喜著
森北出版
2011
太秦南館:5階閲覧室
530||E71h
4
半導体・MEMSのための超臨界流体 : electronic bk
その他
近藤英一編著, 上野和良 [ほか] 著
コロナ社
2012
オンライン
5
マイクロマシン : 驚異の極微技術 ( 講談社現代新書 ; 1147 )
亀岡本館
那野比古著
講談社
1993
亀岡本館:閲覧室
080||Ko19||1147
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