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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：LCSH:Nanoelectromechanicalsystems
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications : hardback ( Fundamentals of microfabrication and nanotechnology ; v. 3 )太秦南館Marc J. MadouCRC Press2012太秦南館:５階大型本 549.9||F89||3
2書影Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology : hardback ( Fundamentals of microfabrication and nanotechnology ; v. 1 )太秦南館Marc J. MadouCRC Press2012太秦南館:５階大型本 549.9||F89||1
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