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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：LCSH:Microelectromechanicalsystems
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1書影Introduction to microfabrication : cloth 太秦南館Sami FranssilaWiley2010太秦南館:５階閲覧室 549.7||F44i
2書影Reliability of MEMS : testing of materials and devices ( Advanced micro & nanosystems )太秦南館edited by Osamu Tabata and Toshiyuki TsuchiyaWiley-VCH2013太秦南館:５階閲覧室 549.7||Ta11r
3書影Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology : hardback ( Fundamentals of microfabrication and nanotechnology ; v. 1 )太秦南館Marc J. MadouCRC Press2012太秦南館:５階大型本 549.9||F89||1
4書影Whole-angle mems gyroscopes : challenges and opportunities : hardback ( IEEE press series on sensors )太秦南館Doruk Senkal, Andrei M. ShkelWiley, IEEE Press2020太秦南館:５階閲覧室 501.22||Se67w
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